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氙氣在電子芯片制造業中的最新應用

時間：2020-12-16 19:00 來源：工業氣(qi)體(ti) 點擊：次

氙(xian)氣的最(zui)新用(yong)(yong)途是(shi)用(yong)(yong)在(zai)電子芯片(pian)制造業，也是(shi)目前氙(xian)需求增長及對氙(xian)投(tou)機(ji)買賣的最(zui)重要原因(yin)，幾家大型芯片(pian)制造商(shang)正使用(yong)(yong)氙(xian)氣等離子蝕刻(ke)，主要用(yong)(yong)于微電子機(ji)械系統（ MEMS ）的制造。MEMS 設備可(ke)(ke)將微(wei)電(dian)(dian)(dian)子和(he)微(wei)機械集成為一(yi)個整體(ti)(ti)，能在(zai)一(yi)塊芯片(pian)上(shang)制(zhi)作(zuo)更復雜(za)及(ji)功(gong)效更強的電(dian)(dian)(dian)路。這種(zhong)技術從(cong)根(gen)本上(shang)把電(dian)(dian)(dian)腦芯片(pian)（處(chu)理(li)數(shu)據）和(he)傳感(gan)器（收集數(shu)據）結合到一(yi)個元件上(shang)，可(ke)(ke)以批量(liang)生(sheng)產，這種(zhong)芯片(pian)的潛在(zai)用(yong)途不可(ke)(ke)限量(liang)，氙氣蝕刻工藝(yi)就由一(yi)些半導(dao)體(ti)(ti)制(zhi)造商用(yong)于(yu)生(sheng)產這種(zhong)超級芯片(pian)。
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